Институт оптических исследований и телекоммуникаций заказывает систему ионно-лучевого распыления для создания лазерных фацетных покрытий и микрооптических устройств.
HHI будет использовать технологию Veeco IBS для создания покрытий для лазерной фаски.
Veeco Instruments объявила, что поставила свою систему ионно-лучевого распыления Spector (IBS) и систему оптического монитора Sirius для Институт Фраунгофера Телекоммуникации(Привет).
Институт, расположенный в Берлине, Германия, заявляет, что будет использовать эту технологию IBS «для разработки и производства лазерных фацетных покрытий и других микрооптических устройств».
«Разработка сложных микрооптических устройств требует исключительной технологии распыления», - прокомментировала Грета Роперс, руководитель группы бэкэнда и упаковки Fraunhofer.
«Система Veeco Spector в сочетании с Sirius OMS гарантирует, что мы разрабатываем и производим устройства мирового класса с высочайшей производительностью и повторяемостью процессов на автоматизированной, устоявшейся платформе».
Тонкие оптические пленки
По словам клиентов, платформа Spector позволяет создавать высококачественные тонкие оптические пленки с повышенным уровнем производительности и пропускной способности. В отличие от покрытий методом испарения тонкие пленки, напыленные ионным пучком, осаждаются при высоких энергиях, что обеспечивает исключительный контроль толщины и низкую плотность дефектов при нанесении лазерных покрытий. Sirius OMS расширяет возможности платформы Spector, сочетая широкополосное управление мониторингом со стабильностью пленок, нанесенных ионным пучком. .
«Компания Fraunhofer HHI во всем мире является лидером в разработке лазерных фацетных покрытий и микрооптических устройств нового поколения, - сказал доктор Адриан Девасахаям, вице-президент и генеральный менеджер подразделения Veeco Advanced Deposition and Etch (AD&E). «Система Spector обеспечивает беспрецедентное качество и гибкость для прецизионного оптического покрытия тонких пленок и ускорит их разработку».
Финансирование этого проекта было предоставлено Forschungsfabrik Mikroelektronik, перекрестная исследовательская фабрика в области микроэлектроники и наноэлектроники, поставившая под угрозу одиннадцать институтов в составе Fraunhofer Group вместе с Innovations for High Performance Microelectronics и Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Система была продана в сотрудничестве с европейским торговым партнером Veeco,Veonis Technologies.
Время публикации: 31 октября 2019 г.